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MueTec的掩膜检测使用的是Die-to-Die的方法,检测掩膜上统计类型的缺陷。该系统用于监视在功率半导体、LED和MEMS领域中的(de)晶圆制造使用的(de)掩(yan)膜

MueTec的(de)系统可帮助客(ke)户确定掩(yan)膜(mo)状态,是否良好,是否需(xu)要(yao)清洁或更(geng)换。


PRODUCTS
  • Spector
    封闭式自动检测系统
    Spector

    典型应用

    掩膜缺陷(xian)检测


    主要特点

    全封闭式系统(tong)

    最多可支持2个吊(diao)舱(cang)或(huo)盒式工作(zuo)站(zhan)

    基(ji)于(yu)Die-to-Die的(de)自动检测

    分辨率最(zui)高可达0.5μm

    最大可支持掩膜尺寸为14英寸

  • Spector A
    开放式自动检测系统
    Spector A

    典型应用

    掩膜(mo)缺陷检测


    特征

    开放式系统

    机械手(shou)掩膜搬运

    全自动(dong)掩膜检测

    基于Die-to-Die的自动检测

    分辨率(lv)最高可(ke)达0.5μm

    最大可支持掩膜尺寸(cun)为14英寸(cun)



  • Spector M
    开放式半自动检测系统
    Spector M

    典型应用

    掩膜缺(que)陷检测


    特征

    开放式系统

    手(shou)动掩膜装(zhuang)卸(xie)

    全(quan)自动掩膜(mo)检测

    基于Die-to-Die的(de)自(zi)动(dong)检测(ce)

    分辨(bian)率最(zui)高可达(da)0.5μm

    最大可(ke)支持(chi)掩膜尺寸为14英(ying)寸