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前段制程是显示面板制造过程中重要环节,Array面板制程利用AOI检测技术监控制造过程的外观缺陷,其检测精度和效率对产品良率和成本产生重要的影响。外围电路、不规则区域的检测困难,成为各显示工厂Array段品控的难点。
项目概述
Array 制程自动光学检测设备采用天准自主开发Virgo 软件平台和独有平台标定技术,适用于Array 基板的全制程缺陷检测,扫描速度快,成像精度高(检测精度1.0μm/1.5μm 可切换)。
方案优势
1、天准独有的标定平台技术支持图像更好拼接,实现分区域检测,对AA区采用周期对比的方式,对外围区域采用 Panel to Panel 对比方式
2、天准自主开发的Virgo软件平台支持矩形、圆形、半圆形等异形Map建立
3、检测精度1.0μm / 1.5μm可切换